1、工具振幅和频率

要是振幅太大或频率太高的话，会给工具和变幅杆造成很大的内应力，振幅通常是在 0.01~0.1mm之间，频率在16000~25000Hz之间。 在实际加工的过程中需要按照不同工具对共振频率进行调整，从而取得最大振幅，实现较高的加工速度。

2、进给压力

在加工的时候，工具对工件都会有一个合适的进给压力。当压力太小的时候，工具端面和工件加工表面间的间隙会加大，进而降低磨料对工件的锤击力； 当压力增大的时候，间隙会减小，在间隙减小到一定程度的时候，磨料和工作液的循环更新速度就会降低，进而生产率也会降低。

3、磨料种类和粒度

在加工的时候，对于不同强度的工件材料可以选择合适的磨料。要是磨料强度越高的话，加工速度就会越快，但是要考虑到价格成本。在对宝石、金刚石等超硬材料进行加工的时候，必须选择金刚石；加工淬火钢、硬质合金的时候，应该选择碳化硼；在加工玻璃、石英和硅、锗等半导体材料的时候，应该选择氧化铝磨料。

4、被加工材料

如果被加工材料越硬脆，那么承受冲击载荷的能力就越低，越容易被去除加工，相反地，韧性越好，越不容易加工。

5、磨料悬浮液浓度

当磨料悬浮液浓度低的时候，加工间隙内的磨粒就少，尤其是在加工面积大、深度较大的时候，很有可能会导致加工区局部没有磨料，大幅度降低了加工速度。而磨料浓度提升的话，加工速度也会随之加快，但是浓度太高也不是不行的，因为磨粒在加工区域内会对循环运动和对工件的撞击运动造成影响。